ASML两个命运转折点
全球光刻机领域三巨头为ASML、尼康、佳能。现阶段的ASML无论是产品、技术,还是市场占有率都稳居第一。然而,ASML并非一成军就是全球的扛把子。据统计,1980年的ASML市份额不到5%,此时的尼康GCA各占30%。上世纪80年代末,尼康占据市场的50%。那么,许多人对ASML发展产生好奇,35年间如何快速成长并成为光刻机领域头目的?客观来说,企业的成功有非常多的因素,有研发投入、产业发展机遇,外部合作条件等等。
ASML在研发上非常舍得投钱,据了解,2018年研发费用高达17.46亿美元。同一时间的中芯国际,投入研发得费用只是6.634亿美元。并且,ASML在全球主要设备和芯片制造国,拥有约12000想专利和专利申请。那么,吃瓜群众会好奇,ASML这么高的研发经费,能否划得来。答案:当然划得来。据财报显示,ASML的2018年净利润达到31.94美元,70%来自光刻机系统销售,30%来自服务和现场期权销售。此外,2018年销售成本、综合开销和行政费用仅5.41亿美元。光企业盈利不说,这么高的科技研发,怎么少得了财政的资助?
ASML除了在研发的投入上,还抓住了两次发展机遇。从而实现产品质的飞跃,并一举拿下全球霸主地位。
第一个转折点发生在上世纪90年代,当时光刻机一直以干式微影技术为主,然而尼康等众多厂家和研究机构进一步攻关时,一直无法从193nm波长缩短到157nm。此时台积电提出把透镜和硅片之间的介质从空气换成水,由于水的折射率大约是1.4,那么波长可缩短132nm。无奈的是,其他厂商基本否定了台积电的做法。此时,鬼灵精怪的ASML决定与台积电研究“浸没式”解决方案,结果全球第一台浸没式微影机,成了市场上最新进的产品。2009年的ASML净销售收入达到22.90亿美元,市场份额达到70%。
第二个转折点在加入EUVLLC俱乐部。EUVLLC是由Intel和美国能源部共同发起的组织,目的在于研制EUV光刻技术。在美国阻挠下,ASML历经一波三折,最后还是加入了EUVLLC。正因为能够享受EUVLLC的研究成果,ASML加快了EUV的研发技术。此时,极紫外光刻技术被认为是制程突破10nm的关键,但在技术难度和投入资金极高。佳能和尼康两位老铁,此时已经开始怀疑人生而几近放弃。然而ASML仍坚守研发,并且资金上向场外寻求支援。
于是,ASML在政府经费方面获得2325万欧元资助,用股权向英特尔、台积电、三星等客户众筹了53亿欧元,再联合3所大学、10个研究所、15个欧洲公司共同搞“MoreMoore”项目。2010年研发出第一款UEV光刻机NXE:3100;2013年开发出UEV光刻机NXE:3300B;直到2017年推出第三款UEV光刻机NXE:3400B。从此,ASML成为全球唯一能设计制造EUV光刻机的厂商,独家垄断了光刻机的高端市场。
ASML光刻机
绑定光刻机“朋友圈”共进共退
我们都知道EUV光刻机,由10万个零部件组成,并且每个核心设备,都是全球最顶尖的技术。可想而知,从事这种精密仪器研发的费用,以及承担的风险有多大。ASML有技术并且创新能力强,最重要的人家在业内人脉广,把“朋友圈”的厂商拴在一起,共同享用科研成果,也共同承担风险。
研发光刻机的体系实在太大了,ASML的生命线在于创新,并且坚持“开放式创新”。首先通过资本市场打通产业上下游利益链,与供应商和客户建立合作机制;其次在政府协助下,与外部技术伙伴、研究机构、学院开展合作,建立开放的研究网络。如此一来,极大加快了自身的创新速度。
在客户方面,英特尔、三星、台积电均是ASML的股东,并且三者每年注入大量资金。当然,ASML的回报就是产品优先给股东使用。通过客户入股,使得ASML与客户之间形成紧密的利益共同体。说道这里大家就应该明白,台积电能买到那么多顶级的光刻机的原因了吧?
在供应商方面,ASML通过战略并购与入股,打通上游供应链,获得顶尖光源、镜头等光刻机零件技术。占据技术高地后,也进一步促进自身核心技术的创新。在外部技术合作上,ASML主导打造了外部技术合作伙伴、研究机构、院校等巨大的开放式研究网络,并通建立特有的专利管理制度。
ASML公司合作模式
所以,ASML一直视自己为建筑师和集成商,用自己的创新、开放式合作、利益共享等一波滑溜的操作,将上下游客户捆绑一起,建立长期合作关系,并且互相倾听、互相推动。一方面通过客户入股获得资金;另一方面扩大市场份额,打通供应链获取技术优势。例如,收购光源大厂Cymer、电子束检测设备上HMI,以及蔡司等,建立完整的上游供应链。归根到底,ASML是真的摸清了光刻机产业生态和运作模式。
结语
写到最后,采购顶级EUV光刻机,光有钱不行。研发一台顶级光刻机,非一国之力能完成。既然这样,那我们是不是没办法了?显然不是!光刻机涉及的领域众多,假如我们占领任何领域的高地,那么合作或采购的谈判才有筹码。
回看ASML经营的生态圈,这种模式也值得自动化企业借鉴。工控中的伺服系统、变频器、电机等产品,同样有自身的上下游产业链。加上跨界合作,融合创新已成为行业主流。工控企业需要以产品为中心主导技术的创新,打通配件供应商、代理商和系统集成商,以及终端客户上下游关系,并融合院校或者其他行业的研究成果,共同推动技术创新分享市场红利。