深扒ASML 的玩法,对工控企业生态圈的思考

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自从美国的新一轮技术封锁发生后,普天之下的吃瓜群众为华为操碎了心,甚至卖菜的大妈偶尔讨论这件事。由此可见,半导体对国家科技、工业的影响有多大。半导体制造产业中,光刻机是核心设备,对芯片的工艺制程起了决定性作用。光刻也是半导体芯片生产流程中最复杂、最关键的工艺步骤。

谈到光刻机,它站在“工业科技食物链”的顶端,此点不容许反驳。光刻机集合了数学、光学、流体力学、高分子物理化学、精密仪器、机械自动化、软件、图像识别等领域顶尖技术的产物。荷兰的ASML公司光刻机的“扛把子”,并且也不容许反驳。ASML最新的极紫外光EUV光刻机能够生产7纳米的CPU,为世界上独一家。为此,没心没肺的小编通过走访国内从业人员,以及查阅网络资料,深扒这ASML这位“扛把子”。

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ASML公司

造一台光刻机有多难?

不明的吃瓜群众经常会问,我们能造光刻机吗?答案是:当然能。只是……自己的光刻机做不出华为想要的芯片。目前,国内真正能商用是上海微电子的90nm光刻机。有媒体报道,中芯国际刚刚完成14nm光刻机量产。不管谁都好,跟ASML的5nm和7nm相比,还是有代差的。

也许又有人问,5nm和7nm的光刻机,我们能不能马上搞出来。答案是:做梦!!前文提到,5nm光刻机是人类自钻木取火以来,科技含金量最高的设备。ASML总裁都扬言,就算制造光刻机的图纸发到其他国家,依然造不出像ASML这么优秀的产品。

ASML总裁并不是信口开河,毕竟最先进光刻机有10万个零件,并且每个核心部件,都是世界最顶尖的技术。ASML在这里也只是个系统集成商,需要日本提供特殊符合材料、美国提供控制软件、瑞典的工业精密机床技术、德国的蔡司镜头等等。我们要搞一台先进光刻机,谁敢保证这条供应链?所以,造一台光刻机的难度,恐怕要超过核动力+电磁弹射的航空母舰了。

ASML公司的发家史

光刻机是一个跨多个科学领域的项目,想要研制EUV光刻机这种顶级产品,首先要很多很多的钱,其次投入的回报周期很长,也有可能打水漂。既然造一台光刻机那么难,那么我就看看光刻机扛把子ASML是怎么做到的?我们先来看看,这位“扛把子”的来龙去脉。

1984年飞利浦与芯片制造商ASMI合资成立ASML,专门从事光刻机设备开发。起初的ASML还是缺钱的,但奈何人家坚持创新和时间,企业成军第一年推出PAS2000步进式光刻机,得到了飞利浦和ASMI追加投资。1986年推出PAS2500,从此在市场建立名气。1988年随飞利浦在台湾建合资铸造厂,开启了亚洲市场之路。

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图:来源安信证券研究中心

进入2000年,ASML开启了“开挂”模式。不仅先后收购硅谷集团、Brion公司、Cymer公司、德国卡尔蔡司,以及台湾电子束测量工具HMI,还陆陆续续地推出新的产品。尤其是具有双工作台、浸没式光刻技术的TWINSCANXT、TWINSCANNXT系列的研制成功,奠定了ASML光刻机领域“扛把子”地位。此时,尼康、佳能市场份额急转直下。据Bloomberg数据显示,ASML在2009年已占据全球70%市场份额。直到今天,7nm光刻机已被ASML垄断,成了当之无愧的独角兽企业。

目前,ASML拥有员工2万多名,办公室遍布16个国家60个城市。从2018年的数据看,全年出货224台,净利润31.94亿美元。

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