MEMS压力传感器

MEMS压力传感器是一种薄膜元件，MEMS压力传感器受到压力时变形，可以利用应变仪（压阻型感测）来测量这种形变，也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。MEMS压力传感器被广泛应用于汽车行业、医疗市场和工业领域。 MEMS压力传感器在汽车中的一个新应用是传动系统压力感测，通常用于自动装置之中，但也用于新型双离合器传动系统。德国厂商推出了一款MEMS解决方案，使用油来保护硅薄膜，使其可以最高耐受70巴的压力。工业领域中MEMS压力传感器的主要应用包括采暖通风及空调（HVAC）、水平面测量、各种工业过程与控制应用。