真空,一个低于地球大气压的空间,是一种物理现象,应用广泛,如食品保鲜、节省空间、精密仪器生产等领域。真空利用的前提是保证真空度在标准范围内,因此需要对真空度进行检测。
真空计又称真空规,是检测真空度和气压的关键仪器。一般是利用气体在不同气压下的某些物理效应的变化来测量气压,其广泛应用于科学研究和工业生产中。
就真空计本身而言,根据其测量原理、测量范围、精度和组织结构,真空计可分为多种类型。根据真空计使用的物理机制不同,主要的真空计可分为三类,即利用机械特性的真空计、气体动力学效应和带电粒子效应的真空计,具体对应的真空计分类如下:
①机械特性:波尔登真空计和薄膜电容真空计;
②空气动力学效应:皮拉尼电阻计和热电偶计;
③带电粒子效应:热阴极电离计和冷阴极电离计。
下面工采网简要说明皮拉尼电阻真空计的原理:
由于气体分子在不同气压下的导热系数不同,当恒定电流作用于热丝时,由于气压不同,气体传导的热量不同,热丝所保持的温度也会不同,从而导致热丝的电阻不同。通过测量热灯丝的电阻,可以计算出气压。
如果用电桥测量热线电阻的变化,将有效提高测量精度。该仪表的测量范围一般为0.1Pa至1000Pa。由于不同的气体在相同的气压下导热系数不同,这种压力表需要在不同的气体下进行校准。
在真空计中真正起到检测真空度的元件其实是内部得真空传感器,工采网技术工程师推荐使用Posifa 微型皮拉尼真空传感器 - PVC1000系列,它依据气体热导率与低真空范围的压力成正比的原理,微型皮拉尼真空传感器测量加热元件电阻值的微小变化,这一变化产生的原因是热量传递到周围气体而引起的温度改变,与气体热导率相关。