编码器“高定”光电器件背后的那些宝藏技术
滨松可以为透射式及反射式光电编码器(含光栅尺),提供涵盖探测器(PD、光IC、CMOS)、光源、电子学的整体光电探测解决方案。基于全线自有的半导体设计、加工、封装技术,可满足客户高度定制化的需求,提供高灵敏、低噪声、高可靠性的量产产品。
在近10年间,已经完成100余宗编码器用光电器件的定制方案及量产供货,目前产能已达到800k pcs/月(PD+LED总量)的水平,在日本占有极高的市场份额。
滨松各种类型,各种封装的探测器
滨松各种类型,各种封装的LED
滨松光半导体的研发史可以追溯到1958年,而从那时起一直秉承的全产线In house的理念。因此通过长足的发展,以及光电半导体越加广泛的应用,逐渐拓展了类型丰富的产品,并磨练出了许多自有的独特半导体技术。
滨松半导体加工车间一隅
# 通孔加工技术
使用MEMS工艺,在PD芯片(光电二极管)上形成通孔,可将特种LED置于其中,实现了LED与PD芯片级的合二为一。还可以调节PD芯片的厚度,以使LED的高度与PD感光区域的高度保持一致。
# 低反射率遮光膜
通过在PD芯片表面涂覆遮光膜,降低金属布线和感光区域以外组件的反射率,信噪比也由此得到了改善。
# FOP耦合
滨松微光纤板(FOP)由微尺寸光纤集合而成,是一种可高率、低失真传送光线和图像的透镜。
滨松FOP